第90章 不同时空的故事84（2/2）

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当班行远把自己的想法说出来的时候，会议室立刻炸了锅。

“雾草，我怎么没想到还能这么做！这真是……”光刻技术的首席专家立刻就激动了。

“老张，注意下，尚书在呢。”老赵提醒说。

“太激动了。不过我们老板不会在意的。还等什么啊，开干吧！”

所有人换上防尘服进入了哪个极为尖端的实验室。

一片涂上了光刻胶并经过特殊处理的晶圆交给了老赵，由他给光刻胶表面“镀”上一层金刚石……

班行远想到的不是别的，就是把老赵研究出来的技术用在光刻技术上。这依旧是一种“浸润”式的光刻技术，不过浸润液不是液体，而是固体。谁说浸润一定要用液体呢？

浸润式光刻的核心原理就是用介质改变光源的波长从而达到提升制程的目的。原理很简单，介质中的电磁波的波长和介质的折射率成反比，在折射率大于1的介质中，波长变短了。

浸润式光刻使用的浸润液的折射率自然越大越好，但是考虑制备和理化性质，最终选择的是水。固体的折射率更高，但是不现实。首先高纯度的固体材料很难制备，然后是很难保证和光刻胶完美贴合，只要中间有空气就失效了。

但是研究院的材料技术完美的克服了这些困难。本来就是一层一层生长的，通过一些技术可以把杂质控制在需要的范围。然后直接在光刻胶表面生长，介质材料做到完美贴合。

这样一来，金刚石成了完美的“浸润液”，就一个优点：折射率够高。水的折射率是1.4左右，而金刚石在226.5n的折射率超过了2.7。波长再短收益就不明显了，金刚石会吸收电磁波导致效率下降。就这那层金刚石也不能做的太厚，超过几微米的话会强烈吸收。

这样一来原本做不了太厚的缺点反而成了优点。

镀上一层金刚石的晶圆送入专门调试的光刻机开始了光刻。然后是离子注入、金属沉积……分割、测试、封装……反正不是一天能完成的。班行远看了一会儿就离开了。

两天后惠安把最终测试结果交给了班行远。“等效10n工艺？这有点夸张了啊！现在最好的制程是22n，10n的话要到4年以后才能量产。那帮家伙觉得量产的可能性怎么样？”

“太可以了。最大的问题是镀金刚石的环节太费时间，其它的没什么难度。而且这也好解决，把设备造大一点，一次对几百片晶圆进行处理，或者多做一些设备，很容易提升效率的。而且不用考虑水在生产中可能出现的气泡之类的问题，反而能提升良率。”