第429章 拦路虎（2/2）

接下来就是实战了。

巨大的机床上，机械臂带着磁流变喷头，在巨大的萤石镜片上缓缓移动。

没有噪音，没有火花。

只有黑色的磁流变液，像丝绸一样滑过镜面。

这就是原子级切削。

每一次拂过，带走几层原子。

一周后。

检测结果：RS=0.35n。

山田光一看着那块如同一汪清水般的镜片，跪在地上，泣不成声。

“这是……神迹。”

镜子磨好了。

但怎么装？怎么测？

这块镜子重达几百公斤。把它竖起来，重力会让它发生微米级的形变。

对于0.5纳米的精度要求来说，微米级的形变简直是灾难。

而且，没有Zygo干涉仪，怎么知道它磨对了没有？

“我们没有干涉仪。”王海冰绝望地说，“没有尺子，我们怎么知道布匹的长度？”

“那就造一把尺子。”

林远看向汉斯。

“汉斯，你还记得ASL是怎么测镜子的吗？”

“他们也不用Zygo。”汉斯说，“对于这种超大口径，他们用点衍射干涉仪（pdI）。”

“不需要大口径的标准镜，只需要一个针孔。”

激光通过一个微米级的针孔，衍射出完美的球面波。

用这个完美的球面波作为基准，去和被测镜面的反射波进行干涉。

“这不需要复杂的透镜，只需要精密的机械结构。”

“但是，”汉斯皱眉，“要在重力环境下测量，必须把镜子卸载。”

“卸载？”

“对。用几十个支撑点，把镜子的重力抵消掉，模拟太空中的失重状态。”

“这需要极其复杂的主动支撑系统。”

林远调来了石头科技的机器人团队。

“张博，我要你们做一个液压+压电混合支撑床。”

“粗调，36个液压囊，承担镜子99%的重量。精调，每个液压囊上，装一个压电陶瓷致动器。”

“然后，用AI实时计算镜子的受力变形。当重力把镜子往下拉时，压电陶瓷就往上顶。”

“我们要让这块几百公斤的玻璃，在地球上漂浮。”

三个月后。

江州，恒温恒湿控制在0.01度的超净装配车间。

一座高达3米的巨大金属塔矗立在中央。

这就是启明-Nikonhigh-NA物镜系统。

里面层叠着12块巨大的萤石透镜和石英透镜。

每一块透镜，都漂浮在主动支撑系统上。

“激光对准。”

一束红色的引导激光射入物镜顶部。

经过12次折射，最终汇聚在底部的像面上。

“波前像差检测……”

所有人都屏住了呼吸。

这是最后的审判。

屏幕上，泽尼克多项式的系数开始跳动。

RSwavefrontError:1.2n.

“1.2纳米？”山田光一惊叫，“这……这比ASL的EUV镜头还要好！”

要知道，EUV镜头的波前像差通常在2n左右。

“因为我们用了透射式。”李振声解释道，“EUV只能用反射式，反射式对表面精度要求是透射式的4倍。我们用193n透射，虽然波长长，但光学设计自由度大。”

“配合我们的计算光刻……我们真的能做3纳米！”

就在所有人欢呼的时候。

林远的手机响了。

是赵孟頫打来的。

他虽然下台了，但情报网还在。

“林远，你搞出大动静了。”

“美国cIA已经知道了尼康泄密的事。”

“他们没有找日本政府，而是直接找了康宁和肖特。他们怀疑你们解决了萤石来源。现在他们正在全球范围内，搜查所有的高纯度氟化钙粉末流向。”

“而且，”赵孟頫的声音低沉，“他们启动了破坏行动。”

“什么破坏？”

“你用的那个磁流变液，核心配方里有一种特殊的磁性粉末。”

“美国商务部刚刚把这种粉末列入了最高级别的管制清单。”

“并且，他们向你的供应商某家国内的化工企业，发送了威胁信。”

“如果你不能在24小时内解决磁流变液的国产化。”

“你的下一块镜子，就磨不出来了。”

林远挂断电话。

看着那座巨大的镜头塔。

他知道，这只是样机。

要量产，必须解决耗材。

磁流变液，这种黑乎乎的液体，成了新的拦路虎。

“去把江钢化工部的人叫来。还有，联系包头稀土研究院。”