第282章 选择五微米（2/2）

他转向吕辰：“小吕是‘红星一号’的总设计，并且负责了芯片的定义和架构，你从应用角度，模块化方案能实现‘红星一号’的基本功能。”

吕辰起身行礼，走到会议室前沿的小黑板前，拿起粉笔。

“陈副所长，各位同志。从系统功能角度，模块化方案完全能够实现‘红星一号’的所有设计要求。”

他在黑板上画了一个简单的框图，四块芯片用方框表示，之间用箭头连接。

然后他从信号流开始，详细讲解了“红星一号”总体设计思路和各芯片单元的功能。

讲解完毕，吕辰总结道：“所以从功能完整性上说，模块化方案没有问题。唯一的代价是：因为分成了四块芯片，它们之间需要通过外部引线连接，这会引入额外的寄生电容和电阻，影响信号传输速度。同时，芯片面积总和比单片方案要大，功耗也会高一些。”

他顿了顿，语气坚定：“但这些代价，在现阶段是可以接受的。我们需要的是尽快验证集成电路设计的正确性，验证从图纸到硅片的整个制造流程是否可行。模块化方案降低了制造门槛，让我们有机会在明年四月前拿出实实在在的成果。”

陈光远连连点头：“说得好！先解决主要矛盾。我们现在的主要矛盾是什么？是集成电路在中国还是‘零’。我们要把这个‘零’突破，证明这条路走得通。至于性能优化、集成度提升，那是下一步的事。”

他看向哈工大的周工：“周工，你们机械部分，五微米精度的工作台，有把握吗？”

周工打开桌上的笔记本，翻到其中一页，上面密密麻麻记录着日期、温度、湿度、电压、工作台移动距离、实际定位误差、重复定位误差等数据。“陈副所长，这是我们团队过去半年积累的工作台测试数据。目前我们自研的蜗轮蜗杆传动工作台，在恒定温度、稳定供电的条件下，重复定位精度能做到正负三微米。”

他指着数据中的几处异常值：“但问题在于稳定性。你看这里，下午两点车间大功率设备启动时，电压有波动，误差就跳到八微米。这里，室温升高两度，热胀冷缩，误差又大了。”

周工合上笔记本，神情严肃：“所以我的想法和陈副所长一样：不追求极限精度，先保证基本可用。”

他加重语气：“而且这个精度要能持续，不能干两个小时就磨损超标。我们要做寿命测试，记录运行一千次、一万次后的精度衰减数据。根据数据改进设计，而不是凭感觉。”

上海机床厂的刘工也表示全力支持，当场就表示立即提供十套工作台传动部件，用于制造原型光刻机。

武水院的赵工分享了他们设计的‘三级稳压滤波’方案：第一级，用大功率稳压器将输入电压稳定在220伏±5%；第二级，给每台光刻机配独立的中功率稳压器，将波动压缩到±2%；第三级，在光刻机控制柜内部，再加一个小型精密稳压模块和Lc滤波电路，最终输出波动可以做到±0.5%。”

这个方案比不上理想的纯净电源，但胜在实施快、成本低。

这些肯定的回答，让会议室里的气氛明显活跃起来。

当目标从“追求完美”调整为“先做出可用的”，那些看似无解的问题，突然都有了现实的解决方案。

陈光远当即拍板，定下了先在五微米工艺站稳脚跟，再攻关两微米，进军亚微米的战略决定。

他对宋颜教授道：“宋教授，我们正式决定，‘星河计划’光刻组，第一阶段目标定为：采用五微米工艺，实现‘红星一号’模块化方案四块芯片的制造和系统集成。时间节点：明年四月百工联席会议前，拿出可工作的样品。”

宋颜教授没有丝毫犹豫：“我完全同意。清华大学和红星研究所这边，会全力配合。设计方案可以根据五微米工艺的要求进行微调，确保可制造性。”

这种“样机秀技术，量产见真章”的务实策略，得到了所有人的支持。

在量产中积累数据、改进工艺，比在实验室里憋大招更有效。

接下来，陈光远、宋颜教授和周工、刘工、赵工正式制定了详细的时间表。

“十一月底前，工作台机械部分完成十套零件的加工和初装配。”周工在笔记本上记录。

“十二月中旬前，电力稳压滤波系统安装到位，完成初步调试。”赵工写下时间节点。

“明年一月底前，光刻机整机完成第一次集成调试。”陈光远定下关键里程碑，“二月初开始工艺试验，用测试图形验证五微米工艺的稳定性和成品率。”

“三月开始正式流片。”宋颜教授接上，“四块芯片，每块至少流片三批次，每批次二十片。从中筛选出性能合格的芯片，进行封装和测试。”

窗外，天色渐暗。

晚上七点，食堂送来了晚饭。

简单的玉米窝头、白菜炖豆腐、小米粥，还有一小碟咸菜。

众人就着会议桌，匆匆吃完，继续讨论。

晚上九点，初步方案和时间表终于成形。

众人走出主楼，深秋的夜风扑面而来，带着松针和泥土的气息。

天空中没有月亮，只有几颗稀疏的星，在遥远的夜空中闪烁。

陈光远送宋颜教授三人到招待所门口。

“宋教授，今天这个会，开得好啊。”陈光远感慨，“把大家从‘追求完美’的牛角尖里拉了出来，找到了切实可行的路。”

宋颜教授微笑道：“这要感谢你们长光所的务实态度。科研最怕好高骛远，脚踏实地才能走远。”

“是啊。”陈光远望向黑暗中的实验楼，那里还有几扇窗户亮着灯，“我们这些人，总想着为国家造出最先进的东西。但有时候，最先进的不一定是最适合的。先把能造的东西造出来，用起来，在应用中改进、升级——这可能才是咱们现阶段最该走的路。”

吕辰静静地听着，心中涌起复杂的情绪。

这就是中国科技发展的真实写照。

没有捷径，没有奇迹，只有一步一个脚印的积累，只有面对现实、解决问题的智慧。

他内心激动，忍不住说道：“陈所长，我始终认为，咱们现在做的这些事，很多年后，会被人写进历史书里！”

陈光远笑道：“年轻人了不起，能用历史的眼光看问题，这是你最宝贵的品质，不过，历史是后来者书写的。对身处其中的我们来说，最重要的不是创造历史的荣耀，而是解决眼前问题的责任。”

说完拍了拍吕辰的肩膀，对宋教授说：“刘教授找了个好弟子啊，小谢也是思维缜密、基础扎实，你们红星所当真是英材济济，难怪能取得如此成就！”

宋教授笑道：“陈所别折了小辈，他们要学的还很多，以后难免要陈所多多关照。”

“哈哈，应该的！”陈光远道。