第506章 微米雄心（2/2）

“这个汇总表是谁做的？”吕辰问。

“当前是我做。”顾赟说，“产线交付以后就是戚工来负责，每个月汇总一次，分析数据趋势，发现问题及时处理。上个月有个点位的颗粒物浓度偏高，我们查了两天，发现是一个高效过滤器的密封条老化了，换掉之后就正常了。”

他翻开记录本中间的一页，指着一行数据。

“你看，就是这个点位。4月12日到4月15日，数据连续偏高。4月16日更换密封条之后，数据就降下来了。”

吕辰仔细看了看，前后的数据对比确实明显。

他把记录本合上，放回墙上。

“顾工，你这个记录做得很好。设备、人员、制度、记录，四样齐全，测试区没有问题。”

顾赟笑了笑：“那就好，我还担心你们会挑出什么毛病呢。”

“毛病肯定有，但都是小问题，不影响大局。”吕辰说，“等验收结束，再慢慢优化。”

两人又看了几台设备，确认没有问题，才出了测试区。

下楼的时候，吕辰问了一句：“顾工，你怎么参与起6305厂的建设来了？”

顾赟说：“嘿，别提了，也是抓壮丁，送扫描电镜过来，安装调试了两个星期，调着调着，就成了测试区的负责人了。”

吕辰又问：“电镜现在怎么样了。”

顾赟道：“放了一段时间，研究昆仑的显示器了。”

他顿了顿，低声道：“现在，所里条件虽然还是差，但星河计划军管后，人心算是稳了下来，柳教授回来了，电镜、显示器、光阴极管三个项目，一起推进。”

“光阴极管？夜视仪？”

顾赟点点头：“对，刘星海教授牵的线，专供国防。”

他的声音里有一种说不清的感慨：“星河计划好啊，文教授带着我们，硬是把扫描电镜搞出来了。”

吕辰点点头，没说话。

两人出了产品中心，往制造中心走。

三个制造中心并排而立，每个都有两百米长，外观一模一样，像三个巨大的孪生兄弟。

目前只有中间的那个制造中心布置了生产线，左右两个还空着，只安装了管廊和基础设备，随时可以扩展。

走进中间的制造中心，一股凉气扑面而来。

吕辰和顾赟换了洁净服，经过喷淋通道，进入洁净区。

车间里的温度恒定在22度，湿度45%，空气经过高效过滤器过滤，干净得像不存在一样。

地面是防静电的淡绿色环氧自流平，走上去有一种微微的涩感，但很稳。

天花板上的日光灯排成整齐的矩阵，把整个车间照得通明。

车间里，生产线按照芯片制造的流程依次排开。

最前面是光刻区，GCA-301CGS光刻机静静地蹲在那里，军绿色的外壳，方方正正，像一个沉默的巨人。

机器旁边围着几个人，刘高工站在最前面，手里拿着一支手电筒，正弯腰往机器内部照。

郑长枫蹲在机器侧面，手里拿着一把游标卡尺，在量着什么。

吕辰走过去，站在旁边看。

刘高工直起腰，把手电筒关了，转过身看着众人。

“分辨率2微米，套刻精度±0.5微米。光电检测自动对准、脉冲电机自动步进、二维卡存储参数、自动加载工艺配方。操作人员要重新培训，不能用老习惯开新机器。”

陈光远在旁边点头：“刘高工放心，操作人员已经培训了两轮，下周还要再培训一轮。”

刘高工没说话，继续弯腰检查。

郑长枫站起来，把手里的游标卡尺收进皮套里。

“工件台我看过了，步进精度0.1微米，跟实验室数据一致。但长期稳定性还要再跑一跑，建议连续运行72小时，看看精度有没有漂移。”

陈光远在本子上记了一笔：“好，验收结束后就安排。”

吕辰沿着生产线往前走。

光刻区后面是薄膜区，化学气相沉积设备、溅射台、蒸镀机，一字排开。

每台设备旁边都贴着一张操作规程，字迹工整，步骤清晰。

设备上还贴着“运行中”或“待机”的标签，状态一目了然。

再往后是扩散/离子注入区，高温扩散炉、离子注入机，管道密密麻麻，像一座微缩的化工厂。

炉子里的温度高达上千度，但炉体外壳摸上去只是温热，保温做得很好。

离子注入机的真空泵在嗡嗡地响，声音低沉而稳定。

金属化车间里，胡教授正在检查溅射台和蒸镀机，银白色的金属薄膜在一块测试晶圆上均匀沉积，反射着灯光，像一面面微小的镜子。

封装区域在生产线的最末端，划片机、键合机、封装机，一台挨着一台。

键合机还是老款式，摆了几十台，这只能用人来堆。

哈工大的周工正在一台一台检查。

吕辰凑上去：“周工，怎么样？”

周工摇摇头：“对准还是要人工，依我看，下一步得加上自动对准。”

吕辰拿起旁边一颗测试芯片，放在手心里看了看。

芯片不大，比指甲盖还小一点，但拿在手里沉甸甸的，有一种实在的质感。

他用拇指轻轻摩挲了一下封装表面，光滑，平整，没有毛刺。

翻过来看背面，引脚光亮，排列整齐，间距均匀。

吕辰把芯片放回去，继续往前走。

走到生产线尽头的时候，他回过头，看了一眼整条线。

光刻、薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装，每一步都清清楚楚，每一台设备都在安静地运行。

这条线，像一个精密的钟表，每一个齿轮都在自己的位置上。

走出制造中心，吕辰又去了动力与保障中心。

那是新产线的“心脏”。

一进门，就是巨大的配电室，双回路供电的开关柜整整齐齐地排列着，绿色的指示灯一排一排地亮着，像繁星点点。

配电室隔壁是柴油发电机房，三台巨大的柴油发电机组并排而立，每台都有小卡车那么大，军绿色的外壳，擦得锃亮。

发电机组的排气管从屋顶伸出去，管壁包着厚厚的隔热棉。

再往里走，是飞轮储能系统。

一个巨大的飞轮在真空腔体内高速旋转，发出低沉的嗡嗡声，像一头沉睡的野兽在喘息。

吕辰站在飞轮前面，感受着那低沉的震动。

脚下的地面在微微颤抖，不是那种剧烈的地震，而是一种深沉的、有力的脉动，像大地的心跳。

看完电力系统，又去看超纯水系统。

超纯水车间在动力中心的另一侧，巨大的水箱和管道密密麻麻，像一个微缩的水处理厂。

自来水经过多级过滤、反渗透、离子交换、紫外线杀菌，最后变成18兆欧·毫米的超纯水，通过全循环管路输送到各个用水点。

技术员打开一个取样阀，接了一杯水，递给吕辰。

“吕工，您尝尝。”

吕辰接过来，喝了一口。

水的味道很特别，不是自来水的涩，也不是矿泉水的甜，而是一种“空”的感觉，什么都没有，干净得像不存在。

“好水。”

吕辰点点头，又去看特种气体系统。

高纯氮气、氢气、氧气的储罐并排而立，不锈钢管道电抛光内壁，接头处光亮如镜。

气体纯化器在嗡嗡地响，确保杂质低于ppb级。

每个气瓶柜上都贴着“高压、易燃、助燃”的警示标志，旁边还放着防爆柜和应急喷淋装置。

安全措施做得一丝不苟。

最后是空调净化系统。

巨大的风机在轰鸣，空气通过高效过滤器送入车间，再从地板回风口抽回来，循环往复，确保洁净度。

风机的噪音很大，但隔音罩做得很好，站在外面只听见低沉的嗡嗡声。

温湿度控制面板上，数字稳稳地停在22.0℃和45%，一动不动。

吕辰在动力中心待了将近一个小时，把每一个系统都看了一遍。

电、水、气、风，每一样都做得扎实，每一样都考虑到了冗余和安全。

看完动力中心，已经十一点半了。

十二点整，所有人回到会议室。

陈光远坐在主位，面前摊着一个本子，上面密密麻麻记着各组的验收意见。

“一个一个来。”他说，“动力中心，先汇报。”

柳教授翻开本子：“电力系统，双回路供电正常，柴油发电机组启动时间8秒，飞轮储能系统响应时间3毫秒，达到设计要求。超纯水系统，出水电阻率18.2兆欧·厘米，全循环管路无死角，水质稳定。特种气体系统，纯度达标，管道泄漏检测合格，安全设施齐全。空调净化系统，洁净度Css96，温湿度控制±0.3°C，达到设计要求。”

他合上本子，看着陈光远。

“动力中心，验收通过。”

陈光远在本子上记了一笔，看向顾赟。

顾赟站起来：“产品中心，测试区域。扫描电镜、电子显微镜等23台设备，全部安装调试完成，操作人员培训合格，操作规程、点检记录、维护保养制度齐全。设备性能达到设计要求，测试区域验收通过。”

陈光远点点头，看向刘高工。

刘高工站起来：“制造中心，生产线。光刻机分辨率2微米，套刻精度±0.5微米，工件台步进精度0.1微米，达到设计要求。薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装各工序设备运行正常，工艺参数稳定。试生产良率62%，接近设计目标65%。”

他顿了顿，又说：“建议连续运行72小时，验证长期稳定性。另外，操作人员的熟练度还有提升空间，建议加强培训。”

陈光远在本子上记下来，一一询问各环节的检查情况，大家也提了一些意见，不过都是些不痛不痒的小细节，陈光远也一一记录。

不一会儿就汇总完了，陈光远看着所有人：“各位的意见，我都记下来了。动力中心、产品中心、制造中心，全部通过验收。”

他顿了顿，声音提高了一些。

“但通过验收不是终点，是起点。下周一，新产线正式联调。连续运行72小时，验证长期稳定性。同时，启动良率提升计划，三个月内，良率要从62%提升到70%以上。”

他看着刘高工、顾赟、郑长枫、胡教授等人。

“各位，有没有问题？”

“没有。”

“好，散会。”

众人站起来，收拾东西往外走。

吕辰走出办公楼，站在台阶上，看着远处那五座巨大的建筑。

阳光从正上方照下来，竖窗反射着刺目的光，像一座座水晶宫殿，矗立在那里，沉默而庄严，又像是上帝丢弃的积木，自然而随意。