第1304章 夜访国产泰斗（2/2）

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“什么叫台积电七纳米验证通过？”

赵伟国两步冲到那台尚未封箱的机台前，抓起挂在侧面的出厂测试蓝皮书。

翻开封面后的检测页，台积电新竹总厂签发的良率比对数据和深宽比刻蚀剖面图，一一在目。

赵伟国盯着那几行数字，瞪大了眼珠子。

“深宽比达到六十比一！侧壁垂直度偏差小于零点三纳米！这……这参数跟泛林半导体的最新主力机型一模一样！”

赵伟国转头看向尹志尧。

“尹老，你们手里有这种王牌技术，怎么不在行业峰会上公开宣传？”

“宣传？应用材料和泛林半导体的专利律师团天天堵在门口，国内大厂又把洋设备当祖宗供着，我们上哪儿宣传？”

尹志尧摇了摇头一脸苦涩。

车间大门这时被人推开。

风尘仆仆的北方微电子负责人赵晋华拎着公文包跑进来，擦了一把额头上的汗。

“张董，尹老！我刚从虹桥高铁站赶过来，没迟到吧？”

赵晋华深吸一口气，从包里取出一摞厚厚的测试报告，交到张扬手上。

“张董，按您的吩咐，我把咱们北方微电子和七星华创刚合研的十二英寸原子层薄膜沉积设备、高精密单片清洗机的极限参数全带来了！机台在亦庄中试线跑了半年，各项指标全部达标，就是找不到大厂的量产线给我们试错定型！”

张扬接过报告，转手塞进赵伟国怀里。

赵伟国连忙低头翻看，翻到最后几页时，一脸的不可置信。

“薄膜均匀度百分之九十九点二！颗粒污染也控制住了！老天爷，咱们国内居然藏着全套的刻蚀和沉积家底，我今天上午还在洋山港给米国人磕头，求他们放行，我特么真是个睁眼瞎！”

说完，啪的一声响起，赵伟国狠狠抽了自己一巴掌。

张扬走到那台银灰色刻蚀机旁，揭下防尘塑料布，在金属机壳上拍了两下。

“尹老，赵总工，以前国内晶圆厂的脊梁骨软，跪久了站不起来，不敢用你们的心血，今天这笔账，我张扬帮你们翻过来！”

张扬转过身，从陈哲手里接过两份早已拟好的空白采购合同。

“江城长江存储一号厂房已经封顶，米国商务部上午刚断了我们的进口设备，现在我以长江存储的名义宣布，首期一百亿人民币的核心设备采购款，一分钱不给洋人，全数交给中微半导体和北方微电子！”

车间里寂静无声。

几个年轻工程师手里的扳手掉在地上，哐当乱响。

尹志尧赶忙扶住工作台，瞪大了眼睛。

“张董，你……你说多少？一百亿？”

“中微五十亿，采购你们的等离子体刻蚀机！北方微电子五十亿，包揽长江存储所需的薄膜沉积、氧化退火与清洗设备！”

张扬大手一挥，继续说道。

“另外，扬天半导体产业基金再向两家公司各注资二十五亿人民币，不占控股权，不设对赌协议，专门供你们扩充十倍产能、招揽全球顶尖工程师！”

赵晋华只觉得双腿发软，没想到馅饼能砸到他脸上，眼泪当场涌了出来。

“有产线了……咱们的机器终于能进自己的大厂量产线了！”

尹志尧摘下老花镜，擦了擦眼眶，上前握住张扬的手，久久不肯松开。

“张董，中微的刻蚀机已经做好进驻江城的准备！但3dNANd需要高深宽比的堆叠工艺，要是能拿到东芝四日市工厂的现成产线参数，我们能少走三年弯路！”