第466章 实力？自研！（1/2）

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魏灼华话音下，场中所有人的目光，都不约而同地在了苏诚身上。

“苏总，这批东西你到底是哪里来的路子？”

魏灼华又问了一遍，话语中带着行家刨根问底的认真。

苏诚笑而不语。

他当然不能这光刻机是怎么来的。

若真让人知道系统的存在，只怕自己明天就要被送去实验室解剖研究了。

这走的每一步，靠的都是系统给的技术脉络，可对外，他只有一个法——自研。

他迎着魏灼华的目光，脸不红心不跳，语气平静却掷地有声：

“实力！我们华创自己研发的！”

“自研？”

魏灼华眉头猛地一跳，眼底的震惊几乎掩饰不住。

作为中芯国际的总工程师，他太清楚这193nArF光源步进扫描式光刻机是什么概念了。

这可是量产90n芯片的关键设备，光刻分辨率、套刻精度、产能，每一项都是世界顶尖难题。

放眼全球，能造出这等设备的，也就ASML、尼康、佳能那么寥寥几家，技术与专利垒厚得几乎无法撼动。

他魏灼华在半导体行业摸爬滚打这么多年，太明白这里面的分量了。

一家成立才一年的企业，自研就自研出来了？

这话，他怎么听着都像天方夜谭。

“陈院士，梁工。”

周启正也回过神来，声音里带着几分难以掩饰的质疑。

“你们二位，当真参与了这光刻机的研发？”

陈光南院士站了出来，神色坦然，声音不高却透着一股不容置疑的郑重：

“周部长，这话不假。

90n制程的烛龙一代芯片，是我主持设计的。

这光刻机能够攻破，是梁总带着团队，一点一点啃下来的。

华创在这上面的投入，我全程看在眼里。”

梁景徽也上前一步，接着道：

“周部长，魏工，我梁景徽原本就是上海微电子出身，在光刻行业干了十几年了。

这193nArF光源、步进扫描式架构，光是光源稳定性、光学系统装调、运动台精度这几项，我们就反复试验了无数轮。

华创能把它做出来，靠的是实打实的技术积累，不是空口白话。”

陈光南院士也在一旁补充道：

“不错。

烛龙一代这颗90n芯片，从设计到流片，每一步都是在华创自己的产线上验证过的。

光刻机能跑通，芯片才能真正量产。

这两者是相辅相成的关系，缺一不可。”

梁景徽点头：

“陈院士得对。

我们先把光刻机做出来，再用它去跑烛龙一代的流片。

一整套流程，都是我们自己从头到尾打通了的。”

他顿了顿，又补了一句，话语里带着一个老光刻人的感慨：

“就运动台和光学系统吧，2007年这个年头，国际上能做高精度运动台的，也就那么几家。

光学镜组更是得在纳米级精度上做加工和装调。

这些，我们都是一点点啃下来的，没有半点捷径可走。”

“这……”

周启正一时语塞，喉头动了动，却不出一句完整的话来。

他原本笃定苏诚是在空手套白狼，笃定这家半路出家的公司拿不出真东西。

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