第469章 替咱们国家,争了一口气(1/2)
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设备拆卸的时候,动作倒是快得很。
各大部件拆开,一件件装进木箱,半天功夫就归置得利利索索。
可真要重新组装起来,那就慢了。
梁景徽带着团队,一点点核对、装调,足足忙活了两天,才把那台庞然大物重新立了起来。
这两天的日子,过得远比外人看到的要煎熬得多。
拆卸时图快,部件分得散,可一到了重新归位的关口,那些被拆开的零件就像活过来似的,处处透着刁钻。
光是那套光学镜组,就有几十片透镜,每一片的位姿、间距、倾角,都得回到出厂时那分毫不差的原点。
装调师傅蹲在防尘服的护目镜后面,一调就是大半天,额头的汗珠顺着下颌线滚,却连大气都不敢喘一口。
“再偏三丝!”梁景徽盯着激光干涉仪的读数,声音沉得发紧,“左边那个支撑臂,再往下压两丝。”
旁边有年轻技工忍不住嘀咕:“梁总,这都快误差到头发丝的几十分之一了,肉眼根本看不出来,真用得着这么较劲吗?”
梁景徽头也没回,语气却硬得像块铁:
“光刻机的套刻精度,一差就是纳秒级的事。你这儿松一分,那边晶圆上就是一片废品。咱们要的是能真正投产的机器,不是摆着好看的架子。”
众人这才明白,这台机器看着是重新立起来了,可真正要把它从“立起来”调到“跑得稳”,还有漫漫长路。
到了第二天夜里,最难的一关还是来了。
光源模块通电测试时,指示灯忽然闪烁起来,报出一连串刺耳的警报。
所有人心头都是一紧。
那可是整台光刻机的“心脏”,要是它出了岔子,这两天的辛苦,怕是要从零再来。
梁景徽却出奇地冷静。
他没有急着拆,而是带着两个老师傅,隔着防尘服逐项排查,一条条管线捋过去,一颗颗螺丝摸过去,最后锁定了冷凝回路里一处被运输颠簸震松的密封圈。
“还好发现得早。”梁景徽松了口气,“要是真通了大电流再出问题,这代价可就大了。”
换件、复位、重新测试,等一切重新归于平静,窗外已经泛起灰白。
第三天上午,所有指标终于稳定在合格线上。
梁景徽退后半步,望着那台重新亮起指示灯的庞然大物,长长舒了一口气。
这两天,他们这群人几乎没合过眼,眼底布满了血丝,可这一刻,他眼里却亮得惊人。
方远也感叹,要不是为了表现,咱也不用受这罪,晚上两天的话,咱也能休息好。
但大家心里都憋着一口气呢,给这群领导看看华创的真正实力。
……
这天上午,众人换好防尘服,经过一道道风淋间,才得以进入无尘车间。
雪白的防尘服裹在身上,只露出一双双眼睛。
苏诚走在前头,脚步很稳,心里却压着一丝连自己也不清的紧张。
这台机器,能不能在众人面前真正立起来,就看这一回了。
车间的门缓缓打开。
那台193nArF光源步进扫描式光刻机,就那样安安静静地立在车间中央。
庞大的机身、精密的管线、泛着冷光的工作台,在无尘车间柔和的光线下,透着一股摄人心魄的威严。
它是完整的。
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