第251章 发放年终福利(2/2)
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“我现在身子骨硬朗了,白天闲着没事,眼神也还行,就坐在向阳的窗户底下,给未来的外孙缝了几件小棉袄和虎头鞋。”
“你们现在工作忙,我不催你们。这几件衣裳你们先收在柜子里备着,等哪天有了好消息,孩子一落地就能穿上姥姥做的衣裳……”
陈序年念完信,抬起头看向旁边的妻子。
林晚秋正双手紧紧把那件红碎花的婴儿小棉袄抱在胸口,低下头去,眼泪一串串地往下掉,砸在红棉袄上洇出一个个小圆点。
这半年多,她一直记挂着母亲的腰病,每次看到母亲以前寄来的东西,心里都酸楚得厉害。
如今听说母亲的腰病好了八成,连县医院的医生都说是奇迹,还能坐在太阳底下穿针引线做这么精细的虎头鞋,心里的那份惊喜、感激和酸涩一下子全涌了上来。
陈序年放下信纸,走过去坐在妻子身边,伸出手臂把人连带那件小棉袄一块儿搂进怀里,手掌轻轻抚着她的后背。
“别哭了,大过年的。你妈的身体彻底好起来了,能吃能走,这是天大的好事。”
林晚秋靠在丈夫怀里,吸了吸鼻子,拿手背抹了一把眼泪,抬起眼睛看着他拼命点了点头。
“我知道是好事。我不是难过,我就是太高兴了……你今年在马兰吃了那么多苦,回来又天天在实验室里熬着,我就是想把信拿出来,让你也跟着高兴高兴。”
“我很高兴。咱妈这针线活儿真好,这虎头帽比百货大楼卖的还精神。”
陈序年拿起那双只有自己两个手指头宽的小虎头鞋,放在手心里看了看。窗外远处传来了零星的鞭炮声,一九六六年的春天,就在这风雪和炉火中悄然而至。
一九六六年春节一过,初五刚复工,陈序年的工作重心就完成了一次转变。
如果说去年下半年他还是在带着大家搭架子,那么从今年二月份开始,所有的工作就全面转向了“技术播种”。这套新的工作方式很快就落实了下去,各个科室都接到了新的任务要求。
陈序年退出了所有具体项目的日常操作,不再亲自去画一张具体的电路板图纸,也不再亲自去调一炉合金的配比。
他每天坐在办公室里,只为那五条技术线制定详尽的阶段路线图、标出必须攻克的关键物理节点并写明严苛的测试验证标准。然后他把本子往各个团队负责人手里一交,放手让大家自己去想办法把难关攻克。
二月中旬,麻烦第一个找上了电子组的方培生。
在把光刻线条分辨率从二十微米往十微米推进的过程中,空间电子小组卡壳了。
他们改了紫外汞灯的滤光片,也换了新提纯的光刻胶。可洗出来的硅片放在高倍金相显微镜底下一看,十微米的线条边缘全都不整齐,有的地方粘连在一起成了短路,有的地方干脆断了线。
方培生带着几个人在暗室里连熬了四个通宵,熬得两眼发红,调了十几组曝光时间,结果全都失败了。
实在没辙了,方培生端着一盒废硅片,硬着头皮敲开了陈序年的办公室门。他站在门口深吸了一口气,随后迈步走了进去。
他心里其实挺没底的,因为年前陈工就放了话,以后不给现成的参数单了,让大家自己闯。可这光刻精度卡在二十微米死活下不去,后头的卫星专用芯片还等着米下锅,哪怕是挨陈工一顿臭骂,今天也得来讨个锦囊妙计。
“陈工,我们卡住了。二十微米以下,线条全糊了。”
“这是这几天跑出来的二十几组废片,你帮我们掌掌眼,到底是光刻胶不行,还是曝光时间没掐准?”
陈序年接过那盒硅片,放在桌上的便携式显微镜底下看了一眼,心里顿时就有数了。
这是接触式光刻最典型的毛病,一是涂胶的时候靠手工滴胶旋转,转速不稳导致硅片中心和边缘的感光胶厚度不均。二是高压汞灯发出的紫外光里混杂着好几个波长的谱线,不同波长的光在胶层里折射率不同,产生了驻波和散射。
要是直接告诉对方“去把匀胶机的转速提到每分钟四千转、再加一块436纳米的窄带干涉滤光片”,他今天下午就能把样品做出来。
但那样一来,下次等往五微米和三微米推进的时候,碰到硅片翘曲或者显影液温度波动还是得抓瞎。现在离五月还有三个月,必须教他一套在没有指导的情况下也能自己锁定病根的科学方法。
陈序年没有直接指出那两个毛病,只是拿过一张白纸,在上面画了一个表格,推到方培生面前。
“老方,你们这四天,是不是一会儿改一下曝光时间,觉得不行,又顺手把显影液浓度也改了?”
“结果越改越乱,最后连到底是哪个因素起的作用都分不清了?”
方培生脸上一热,挠了挠后脑勺:“是……大家伙儿急着出结果,看线条糊了,就想着多管齐下,一块儿调调试试。”
“搞精密工艺,最忌讳的就是凭感觉乱调参数。影响光刻分辨率的因素少说也有七八个:光刻胶粘度、匀胶转速、前烘温度、曝光光源波长、掩膜版贴合压力、显影时间。”
“你把这几个因素全都列出来,不要一个一个去傻试,用数学上的‘正交实验法’,设计一张正交表。每次只按正交矩阵的组合做九组实验,然后做方差分析,逐个排除干扰项,把权重最大的主因给我揪出来!”
听到正交实验法这五个字,站在桌前的方培生瞬间反应了过来。
他愣了一下,眼神一下子亮了起来。这法子以前在大学数学课上听说过,但过去搞器件全凭老师傅的经验和陈工给的现成方子,从来没想过把这套统计学工具用到车间工艺排查里头去!
“我明白了陈工!我不问你要现成参数了,我现在就回去列因素表,做正交实验!”
方培生端起那盒废硅片,转身就往门外跑去。