第66章 双工件台（1/2）
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凌晨一点，星辰光刻总装车间。
那台已经立起骨架的EUV光刻机样机，安静地矗立在防震地基上。工件台在真空腔里缓缓移动，发出极轻的嗡鸣。
王磊盯着屏幕上跳动的数据，脸色越来越沉。
"第43次联调，开始。"
"工件台Y轴移动，误差——3.18纳米。"
"X轴，误差——3.24纳米。"
"未达标。要求精度：0.5纳米。"
机械的女声，在车间里回荡。
王磊摘下耳机，一拳砸在操作台上："差一个数量级！怎么调都压不下去！"
桌角的咖啡杯被震得跳了一下，洒出几滴褐色的液体。车间里，几个工程师面面相觑，谁都没敢接话。
"老陈，"王磊抬起头，眼底全是血丝，"这已经是第43次了。再这么调下去，三十天的联调计划，全得泡汤。"
陈博士叹了口气，正要开口，苏宇的声音先一步响起："把数据打出来，我看看。"
苏宇站在他身后，盯着那组数据，沉默了很久。
"问题出在哪？"他问。
"测量基准。"陈博士走过来，推了推眼镜，"工件台的对准精度，取决于测量基准的稳定性。我们的基准台，热膨胀系数超标——温度波动零点一度，误差就放大一倍。"
"国外那几家能做高精度基准台的公司，"王磊接过话头，声音发苦，"全在芯片联盟的封锁名单里。艾斯摩尔当年造工件台，用了德国顶级精机厂的部件。我们——买不到。"
"买不到就造。"苏宇。
"造不了。"陈博士摇头，"这东西，难的不是图纸，是加工精度。国内能加工这种等级零件的厂，屈指可数。而且基准台的材料，本身就是个世界级难题。"
苏宇没有话，只是走到工件台前，蹲下身，看着那台精密机器的底座。
芯片联盟的封锁，一环扣一环。
光源，他们断零部件。
材料，他们断原材料。
现在，连一台测量基准台，他们都不肯给。
"陈博士，基准台的技术路线，你今晚给我一份可行性报告。"苏宇站起身，"国内找不到的，我们就找国内最好的脑子。"
回到办公室，天已经蒙蒙亮。
苏宇靠在椅背上，揉了揉眉心，意识沉入系统图纸库，检索"高精度测量基准台"。
【检索结果：超高精度测量基准台技术图纸——存在。核心难点：低热膨胀材料与纳米级平面加工，国内供应链部分覆盖，需精密仪器领域专家协同。】
精密仪器……
苏宇睁开眼，正要给陈院士打电话，手机却先一步亮了。是夏若雪发来的消息，只有一句："还在公司？"
苏宇回了一个"嗯"。
三分钟后，办公室的门被轻轻推开。夏若雪端着一碗热粥走进来，白裙上还沾着一点墨迹——她大概也是在实验室里熬了夜。
"听工件台卡住了。"她把粥放在桌上，轻声，"你两天没回家了。"
苏宇端起粥，喝了一口，忽然问："若雪，你这两天，是不是也一直在实验室里泡着？"
"嗯。"夏若雪下意识地擦了擦袖口上那点墨迹，"清源那边，有个水质监测的项目，正好到关键阶段。"
"熬夜了？"
"还好。"她笑了笑，"倒是你——工件台的事，别太熬。身体要紧。"
苏宇放下粥，伸手替她理了理鬓角散的一缕发丝："等我忙完这阵，带你出去走走。"
夏若雪耳朵一红，轻轻"嗯"了一声。
"嗯。"苏宇没有否认，"难点在测量基准。进口的被封锁，国内又找不到能造的厂。"
"测量基准……"夏若雪若有所思，忽然，"我导师，以前跟我提过一个地方。"
"什么地方？"
"国家精密仪器研究院。"夏若雪，"那里有位何院士，专攻纳米级精密测量。他年轻时，主持过龙国第一台光刻机的预研——虽然那台机器没造出来，但他的团队，手里有全套的基准台设计方案。"
苏宇的呼吸，微微一窒。
"你认识何院士？"
"我导师是他当年的学生。"夏若雪，"其实昨晚，我已经给我导师打过电话了。何院士一听是造EUV光刻机，当场就，要买票来魔都看看。"
苏宇看着她，忽然有些发怔。
这个平日里安安静静的姑娘，在他最需要的时候，总能从兜里掏出一张他想不到的牌。
而且，她早就替他想到前面去了。
"若雪，"他认真地，"这次，又要欠你一个人情了。"
"什么人情。"夏若雪弯了弯嘴角，"你的事，不就是我的事吗？"
她顿了顿，又补了一句："粥，趁热喝。凉了伤胃。"
第二天下午，京城来的高铁，准时停靠在魔都站。
何院士今年六十七岁，头发花白，精神矍铄。他一下车，目光就锁定了苏宇，上下打量了一番，忽然笑了。
"苏是吧？"他拍了拍苏宇的肩膀，"若雪那丫头给我打电话，你这边在造EUV光刻机。我一开始还不信——现在看你这架势，是真要干啊。"
"何院士，"苏宇郑重道，"工件台测量基准的事，拜托您了。"
"走，先看光源。"何院士摆摆手，"别的不用多。你们若雪那孩子，很少求人。她开口，我老头子，一定尽力。"
何院士在总装车间里，整整转了一上午。
他先看了极紫外光源——光源组的人给他演示了出光，何院士盯着那束紫外光，沉默了很久，才了一句："这束光，我等了二十年。"
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