第79章 首次流片（1/2）

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四十八时联调，最后两个时。

控制室里，静得能听见每个人的呼吸声。

三班倒的工程师们，谁也没有离开。他们或站或坐，有的倚在墙角，有的蹲在地上，目光却都死死盯着同一个方向——主控台上那块跳动着数据的大屏幕。

"第四十六时。"王磊的声音干涩，"光源545瓦，稳定。"

"工件台同步误差，0.08纳米。"

"光学链路传输效率，78.4%。"

苏宇坐在主控台前，手里端着一杯早已凉透的咖啡。他已经三天没合眼了，眼底布满了血丝，握着杯子的手，却稳得没有一丝颤抖。

"苏总，"王磊低声，"您要不……先歇会儿？这边我盯着。"

"歇什么。"苏宇放下咖啡杯，"这台机器，从光源到镜组，每一颗螺丝，都是咱们拧上去的。它跑到最后这两时，我不在这儿看着，心里不踏实。"

第四十七时。

控制室里的空气，几乎凝固。

"第四十七时五十九分……"

"五十九分三十秒……"

"五十九分五十秒……"

王磊的声音，越来越紧。

"零！"他猛地攥紧拳头，"四十八时——联调完成！"

控制室里，沉寂了三秒。

然后，整个厂房，彻底炸了。

"过了！过了！"

"四十八时零故障！整机联调，全部通过！"

"咱们的光刻机——活了！活了！"

工人们把安全帽扔上了天，有人抱在一起，哭得像个孩子。

苏宇没有喊，他只是静静地站在主控台前，看着那台钢铁巨兽，看着屏幕上跳动的数据流。

他抬起手，指尖轻轻拂过控制台的边缘，像是拂过一台机器沉睡了二十年的心脏。

"叮！【EUV总装】子任务进度更新：总装（完成）、联调（完成）——最后一环：流片！"

"提示：流片成功，即【EUV总装】子任务全部完成。"

苏宇深吸一口气。

"王磊，"他开口，声音平静，"准备流片。"

"流片？！"王磊一愣，"苏总，现在就流片？"

"对。"苏宇，"联调刚过，正是状态最好的时候。趁热打铁——"

"让全世界看看，这台机器，造出来的芯片，是什么样的。"

流片，是光刻机最神圣的一步。

晶圆被机械臂稳稳送入真空腔体，在工件台上定位、对准。光源在指令下亮起，极紫外光穿过层层叠叠的光学镜组，在晶圆表面，刻下一道道肉眼看不见的纳米级电路。

厂房里，上百人围在观察窗前，屏住呼吸。

"晶圆装载完毕。"

"工件台定位完毕，对准误差0.06纳米。"

"光学系统，状态就绪。"

"光源系统，状态就绪。"

"曝光开始。"王磊的声音，在安静得可怕的厂房里回荡，"第一组图形，曝光完毕。"

"第二组……"

"第三组……"

每一步指令，都伴随着一个确认音。每一道指令，都像是敲在所有人的心上。

"第十组……"

"第二十组……"

一个时后，曝光完成。

"曝光完成！"王磊的声音，激动得变了调，"全部图形曝光完毕——转显影！"

晶圆被机械臂从真空腔体中取出，送入显影设备。

所有人，都挤到了显影车间门口。

"显影完成！"操作员的声音，激动得发颤，"晶圆已经出来了！"

"快！快看！"

苏宇第一个走进车间。

操作台上，一块八寸的晶圆静静地躺着。在无尘车间的灯光下，晶圆表面，反射着一层瑰丽的光泽。

他俯下身，凑近那片晶圆。

晶圆表面，密密麻麻的纳米级电路图案，清晰可见——在晶圆的正中央，一个图案赫然浮现。

那是一条腾飞的龙。

龙身缠绕着一颗五角星，星光四射——正是星辰集团的标志。

"龙……"苏宇的瞳孔，猛地一缩。

"是星辰的标志！"王磊的声音，一下子拔高，"流片成功！首次曝光——流片成功！"

"成了！！"

"咱们造出来了！！"

"国产EUV光刻机，第一次流片——成功了！！"

厂房里，彻底沸腾。

有人跪在地上，掩面痛哭；有人高举双手，嘶哑地吼着；有人抱着身边的人，又跳又笑。

老陈师傅站在观察窗前，看着那片晶圆，老泪纵横："值了……我装配了一辈子机器，今天……值了！"

陈院士捧起那片晶圆，手都在抖。他看了很久很久，才哑着嗓子："0.5纳米。这片晶圆上的电路，是0.5纳米制程。"

"咱们龙国自己的光刻机，造出了0.5纳米制程的芯片。"

"这在国际上——也是第一梯队！"

消息，第一时间传遍了全世界。

林晚晴的直播间，当场炸锅。

"家人们！！！"她举着手机，声音带着哭腔，又带着狂喜，"流片成功了！！！国产EUV光刻机，第一次流片，成功了！！晶圆上，是星辰的标志！是我们龙国的芯片！！"

弹幕，疯了。

"卧槽卧槽卧槽！！真的假的？！"

"国产EUV流片成功？！这才几天？！"

"苏宇牛批！！星辰牛批！！龙国牛批！！"

"以后谁再龙国造不出光刻机，我跟他急！"

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