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第359章 林决:不用适应,现在我手里已经有个方案了(1/2)

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谷方绪微微叹气,

“是的。”

“具体问题呢?”

林决转头看了谷方绪一眼,继续问。

“目前核心短板是初期污染控制,团簇均匀分散,RLS协同控制。”

林决点了点头,找到相关的工程日志看了看。

然后便发现。

很多试样曝光时,锡挥发会产生严重超标。

这样的情况出现后,会持续污染上游多层反射镜和PelliCle保护膜。

但如果将这种情况控制住,材料灵敏度和粗糙度又会同时变差。

属于是一根筋两头堵的难点。

见状,谷方绪继续道,

“除此之外,上游高产有机配体,底层反射层整套配套链条也不完善......

我们毕竟缺少真实EUV整机长期的工况验证平台,所以目前只能做短时间模拟曝光,难以验证晶圆连续晶圆体连续加工稳定性......”

话间,林决已经快速阅览好几个文件。

“好的,具体情况我下来再看看。”

林决着,将文件拿起放在腋下,然后伸出手,

“谢了谷教授,希望我们能共同进步,将这个难关彻底突破!”

谷方绪看了看眼前这个少年还略显稚嫩,但却充满了自信的脸庞,心中不禁泛起些许涟漪。

“那好!共同进步!”

罢,两人紧紧握手。

恍惚间,谷方绪好像产生一种,新老时代交替的错觉。

“好了谷教授,我先回去了,你们忙吧。”

“好的。”

看着林决离去的背影,谷方绪在原地驻足良久。

实话,谷方绪搞科研这么多年以来,其实早就不怎么吃压力了。

但看着那个背影,他却没由来感觉,自己老项目组,很可能会被对方当减速带碾压过去的错觉......

不过......

即使有这种感觉,但谷方绪对林决却并未有厌恶之感。

相反,从最私心的角度来讲。

他可能是整个光机所,最希望林决能在此途成功的人了......

因为就算冯宴教授回国。

可能在材料方面的进步,前进也是有限的。

但林决呢......

在谷方绪印象中,他总创造一些让人为之惊叹的奇迹!

冯教授能够保证下限。

但林决,却让人觉得上限能够无限拔高......

给我证明吧林决,这是你的时代!

.............

而在接下来的两天。

光机所自下而上的所有机构,仿佛是启动了紧急事故一般。

相关的资金人手,立马给林决安装到位!

另一边。

北大物院。

许渊也是听闻了这个消息。

“这子......咋又跑到材料学的领域蹦哒了?”

虽然语气中带着些许埋怨,但老许脸上那股子骄傲劲儿是藏不住的。

“算了,别把人材料领域的人吓到了,到时候跑来找我算账咧......”

而在数院方面。

江维汉在得知消息后,并未有丝毫意外。

之前他就听周清源过,林决最近一段时间,老是抱着高端材料相关的学术论文看着。

江维汉并未认为,林决是因为对这方面感兴趣去做的拓展。

毕竟如果只是感兴趣的话,根本不用着看一些领域涉及极深的知识点,点到为止即可。

除此之外。

关于冯宴教授的消息,目前已经能够确定的是......

他已经被那边官方监视,之后可能还要面临诉讼案件,反正就是变着法恶心人。

如此一来。

至少冯教授短在时间内,肯定是无法离开牢美了。

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