第625章 方案讲解（2/2）

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台下的牛志学一边听，一边轻轻点头。

虽然他对具体的化学反应方程式不甚了解，但他能听懂普通五金厂就能焊接出来这句话背后的含金量。

材料组汇报完毕后，紧接着上台的，便是吴启明所在的光学镜头组，以及负责极紫外与深紫外光源激发的激光物理组。

正如上午所确立的核心思路一样，后面上台的每一个专业组，在汇报方案时，全都围绕着四个核心关键词展开。

简单化、模块化、型化、便携化！

光源组砍掉了原本重达数十吨，需要复杂高能激光器轰击锡液滴的极紫外光源系统。

退而求其次，设计了一套结构紧凑的准分子激光深紫外光源模块，并利用特殊的谐波倍频晶体阵列，强行将输出波长压缩到了能够满足高端芯片多重曝光的临界值。

整套光源模块的体积，被他们缩到了只有两个家用双门冰箱那么大。

光学组则拿出了上午吴启明提出的牺牲寿命换取精度的方案。

他们放弃了需要漫长周期的离子束抛光，改用计算机控制的磁流变液快速研磨法，配合化学气相沉积形成的临时高反射率薄膜。

这套光学镜头组的理论寿命虽然只有一万个时左右，但它的加工设备门槛降低了整整三个数量级。

当时间来到下午四点钟的时候，压轴出场的机械工程与精密母机设计组代表。

那位年仅四十出头的孙明院士，带着一份让全场学者都眼前一亮的总装工程图纸，走上了讲台。

“大祭司，各位前辈，前面各个组已经把光源、镜头、材料和控制芯片的简化方案都解决了。”

“而我们机械工程组的任务，就是把这些被简化后的核心模块，用最稳固，最精确的方式组装在一起，并提供微米乃至纳米级的运动控制平台。”

孙明站在讲台中央，伸手指向摆放在台上的那台被拆解开的海城三号光刻机实物：“大家都很清楚，台上这台标准版光刻机，零部件总数超过了十万个。”

“光是把这些零件在无尘车间里组装起来，并进行的光路校准与机械调平，就需要一个五十人的顶尖工程师团队，耗费整整四个月的时间！”

“在缺乏高端配套设施的简陋条件下，我们显然不可能拥有那么高标准的超大型无尘车间，也不可能投入那么多熟练的高级技工去进行长达几个月的微调。”

“所以，考虑到这套设备只需要维持一到三年的过渡期使用寿命，我们工程部门打破了传统的散件组装思维，创新性地采用了一套一体式模块化拼装外壳设计！”

随着孙明在终端上轻轻一点，讲台上方巨大的全息屏幕中，立刻浮现出了一台造型方正，充满了一种简约工业美感的全新光刻机三维模型。

在演示动画中，这台机器的外部不再是复杂的管线与支架，而是变成了一个由特种铸铁与环氧树脂花岗岩一体浇筑而成的六面体蜂窝状框架。

孙明拿着激光笔，声音振奋地讲解道：“我们把原本需要现场组装的十万个零件，在图纸设计阶段，就直接整合成了十一个高度集成的独立功能模块！”

“这个一体式的外壳框架，内部预设了具备自定位功能的锥形机械卡槽与标准化的水电，光纤盲插接口。”

“外壳在浇筑完成后，只需要利用我们设计的前置简易母机，对内部卡槽的几个核心基准面进行一次性的刮研与激光校准。”

“一旦外壳基准面校准完成，后续的总装过程将发生质的改变！”

演示动画里，十一个代表着光源、物镜、双工件台、机械臂的模块，就像是一块块严丝合缝的积木一样，顺着导轨直接滑入了外壳的卡槽之中，并自动锁死。

“通过这种一体式模块化拼装外壳，我们将原本需要五十人、耗时四个月的复杂总装工程，彻底简化！”

孙明转过身，看着台下屏息凝神的众人，清晰地报出了最终的测算数据，“按照我们的这套设计，只要前置的十一个模块生产完毕，到了最终的总装环节，完全不需要顶尖的光学工程师在场。”

“只需要五个具备基础理工科常识的普通人，对照着我们的操作手册学习半天，然后借助一台型龙门吊，只需要十个时，就能像拼装玩具一样，将整台光刻机的物理组装与管线对接全部完成！”

“通电之后，依靠内置的天火简化版自检程序，两个时即可完成自动光路校准，直接投入生产！”

“五个普通人，学习之后只需要十个时就能完成总装？！”

听到这个数字，台下其他专业的院士们顿时发出了一阵低低的惊叹声。

对于光刻机这种工业皇冠上的明珠而言，将其组装难度压缩到这种近乎于傻瓜式操作的地步，这绝对是机械工程与结构拓扑学上的一次大胆突破。

虽然这牺牲了后期单独更换某个微零件的维修便利性。

哪个模块坏了就只能整个模块拔出来扔掉换新的，但在荒芜之地或者简陋的场景下，这种免维护、快拼装的设计，恰恰是最实用的方案！

随着孙明院士将机械组的最后一部分前置母机图纸展示完毕，并在量子超算的实时物理碰撞与流体模拟中跑出了代表全部通过的绿色标记，今天下午这场长达四个时的分组汇报，终于接近了尾声。