第294章 突然提出收购徕卡？！（1/2）

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“EUV光源也已经有突破了？”

韩文韬还真不知道这点。

他是看到“北辰半导体”晶圆厂的制程工艺，突破90n，而且已经在追下一代：65n工艺。

一旦追上！

那代表着，“北辰半导体”在芯片制程工艺上，将完全不落后世界其他晶圆厂。

无论三星、台电！

甚至以韩文韬对“北辰半导体”的投入、支持力度……反超三星、台电，在制程工艺上，领先全球都不是没问题。

没想到，来“北辰精密”光刻机研究项目，还听到了更好的消息：EUV光刻机，已经有突破了！

“对，EUV激光器，我们已经弄出来了……就是有点不美观、很粗糙。”

“稳定性和精度，更是没法看！”

“物镜方面，精度也达不到，还在继续攻坚……”

光源团队、物镜团队，几个负责人都表示，EUV非常难。

也带韩文韬去看了第一代，EUV的激光器。

纯力大砖飞！

靠着大尺寸人造金刚石散热，强行弄出来的EUV激光器。

靠着大尺寸人造金刚石提升了八九倍散热，强行提升功率……想要实现EUV光刻机以每秒5万次（50kHz）的频率，精准轰击直径仅约30微米（比头发丝还细）的锡液滴，将其转化为等离子体并辐射出EUV光。

这个稳定性和精度，那是不用想的！

“可以！即便是大力飞砖，有这样一个原型，后面继续改进、优化就行！”

韩文韬对这个初代EUV大功率激光器，并不觉得失望。

激光器启动，只能击中一次锡液滴，将其转化为等离子体并辐射出EUV光。

想要每秒5万次（50kHz）的频率连续击中锡液滴？

难！

但是能解决光源问题，其实就已经解决了最核心的重要问题！

已经是非常、非常、非常大的进步。

未来，只需要继续优化激光器，提升稳定性和精度就行。

至于说物镜系统？

平面精度比头发丝直径还要细几百万分之一，反射率70%的布拉格反射镜。

这个即便是“北辰精密”的纳米磨料，想要做到这种精度，也不是那么简单的。

靠机器是做不到的。

“北辰精密”的精密打磨、抛光设备，再强、再精密！

也达不到这种精度！

这种精度的物镜，只能手工完成！

目前，长光所、科院光电所，几个老师傅已经过来，开始带队，每天醒来第一件事就是做布拉格反射镜！

不断失败！

不断失败！

慢慢向成功靠近！

这方面，韩文韬“原子重组”的能力也没办法。

光刻机的物镜，不可能靠他来手搓吧？

必须要能自主生产！

只能靠人工慢慢打磨。

用纳米磨料，不断打磨、抛光……培养手感。

这是真·大国工匠！

“韩教授，据我们所知，徕卡目前的经营情况似乎不是很好……”

“我们光刻机物镜方面，用的上他们的技术！”

“而且，我们之前还帮“北辰科技”手机镜片提供了一些技术，我觉得你可以考虑一下，拿下徕卡部分股份，对我们很有用！”

长光所这边过来的负责人，这时候开口提了一件事！

徕卡！？

韩文韬知道蔡司是光刻机光学系统供应商，镜片研磨精度达原子尺度，这项技术一直都没有替代方案。

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