第428章 上门投靠（1/2）

江州，启明防务技术研究院，地下二层。

光子工厂的基建工程正在疯狂推进。

为了隔离辐射，光源被安放在厚达两米的混凝土掩体中。而光刻机车间，在距离掩体50米之外的地方。

这意味着，这束宝贵的193n激光，必须穿过一条长达50米的真空管道，经过至少8次反射，才能到达光刻机的曝光台。

第一次联调测试。

“光源功率：100w，发射！”丁院士下达指令。

掩体内的SSb光源发出幽幽蓝光。

但在50米外的光刻机入口处，功率计的读数却让所有人倒吸一口凉气。

接收功率：0.5w。

损耗率：99.5%。

“光呢？”王海冰咆哮道，“99.5瓦的能量去哪了？被鬼吃了吗？”

“被镜子吃了。”张教授长春光机所拿着一片刚刚拆下来的反射镜，脸色惨白。

镜片中心，原本光洁的膜层已经发黑、起泡，仿佛被烟头烫过一样。

“林董，我们遇到了反射率灾难。”

“193n光子能量太高。普通的铝膜反射率只有90%。经过8次反射，0.9的8次方，只剩下43%。”

“这还是理论值。实际上，镜片吸收了能量后发热，膜层结构破坏，反射率会进一步雪崩。”

“剩下的99.5瓦能量，全部变成了热，烧毁了我们的光学系统。”

林远看着那片废镜。

“我们需要更高的反射率。”

“多少？”

“99.9%。”张教授伸出三根手指，“少一个9，光就送不到。”

要做到99.9%的反射率，金属膜铝、银是不可能的，必须用全介质多层膜。

利用光的干涉原理，镀上几十层高折射率和低折射率交替的材料，让反射光叠加增强。

“材料选什么？”林远问。

“对于193n，只能选氟化物。”张教授在白板上写下化学式，“氟化镧LaF3做高折射率，氟化镁gF2做低折射率。”

“但是，氟化物有个致命弱点应力大，易裂。”

“我们要镀60层膜，总厚度3微米。这层膜的内应力，足以把基底玻璃拉弯，甚至直接崩裂。”

实验室里，IbS镀膜机再次启动。

“第一炉，60层LaF3\/gF2。”

出炉。

“咔嚓。”

镜片还没拿稳，膜层就像干裂的土地一样，碎成了一片片鱼鳞。

“张力太大了。”张教授摇头，“膜层想收缩，基底不让崩了。”

“那就反向补偿。”林远提出了方案。

“在镜片的背面，也镀一层膜！”

“这层膜不需要光学性能，只需要它的应力与正面膜层相反且相等。”

“正面拉，背面也拉。两股力抵消，镜片就平了。”

这需要极高的应力控制精度。膜厚误差不能超过1纳米。

经过二十次试镀，报废了价值上千万的镜胚后。

终于，一片双面镀膜的反射镜，完整地走下了生产线。

反射率测试：99.92%。

“过关了！”

解决了“吃光”的问题，接下来是“跑偏”的问题。

50米的距离。

这就像是在百米开外，用激光笔射中一只苍蝇的眼睛。

光束指向稳定性potgStability要求：＜1微弧度μrad。

也就是说，光源端抖动1微米，到了50米外，光斑就会偏离好几毫米，直接打在墙上。

“林董，我们稳不住。”

负责机械结构的工程师指着地基震动监测仪。

“虽然我们做了隔振地基，但周围环境的震动太大了。”

“江钢的重卡路过、隔壁车间的冲压机、甚至50公里外的高铁经过，都会通过地壳传导过来微震。”

“这些震动频率在1hz到100hz之间。对于光路来说，这就是大地震。”

光斑在靶面上疯狂跳动，根本无法锁定。

“被动隔振弹簧、气垫没用。”汪韬看着数据，“低频震动隔不掉。”

“必须上主动稳像。”

林远下令。

“1.传感器：在光路每一个转折点，安装pSd位置敏感探测器。实时捕捉光斑的偏移量。”

“2.执行器：把反射镜座，换成压电陶瓷快速反射镜FastSteergirror,FS。”

“3.算法：汪总，上盘古控制模型。搞一个高带宽闭环反馈系统。”

“当pSd检测到光斑偏了0.1微米，FS要在0.1毫秒内，偏转0.001度，把光踢回去！”

系统搭建完毕。

FS反射镜发出高频的“滋滋”声，它在以每秒1000次的频率微调角度，对抗着来自大地的震动。

“启动闭环控制。”

屏幕上，原本乱跳的光斑，突然像被钉子钉住了一样，死死地停在靶心中央。

抖动量：0.5微弧度。

“稳住了！”

但是，还没等大家高兴太久。

“警报！FS驱动器过热！”

“压电陶瓷发热严重！线性度下降！”

高频震动带来了巨大的热量，导致压电陶瓷的迟滞效应变大，控制精度开始漂移。

“加散热！”林远当机立断。

“给每个镜座，加装半导体制冷片tEc，恒温控制在25±0.01度！”

这是一场与“熵”的战斗。为了维持那一束光的稳定，背后是无数套复杂的温控、电控系统在疯狂运转。

光强够了，光路稳了。

但在连续运行了24小时后，一个新的问题出现了。

“光功率在衰减。”

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