第428章 上门投靠（2/2）

王海冰看着监控曲线。

“每小时衰减1%。照这个速度，三天后就没光了。”

“去检查镜片。”

工程师打开真空管道，取出了反射镜。

所有人倒吸一口凉气。

原本晶莹剔透的镜片表面，覆盖了一层薄薄的、黑色的物质。

“是碳。”张教授用光谱仪测了一下。

“哪里来的碳？”林远问，“我们的管道是超高真空UhV，10的负9次方帕。怎么会有碳？”

“光化学污染。”

汉斯叹了口气。

“真空系统里，不可避免地会有微量的有机挥发物Vocs。比如密封圈释放的烷烃、泵油的蒸汽。”

“在193n高能光子的轰击下，这些有机分子会发生裂解，碳原子沉积在镜片表面，形成石墨层。”

“石墨对紫外光是强吸收的。这层膜越厚，吸收越强，镜片越热，最后炸裂。”

这是深紫外光学系统的癌症。ASL当年为了解决这个问题，花了整整五年。

“换金属密封圈？换无油泵？”王海冰问。

“没用。哪怕是一个分子的有机物，时间长了也会累积。”

“不能防，只能洗。”

林远提出了方案。

“我们不能每次都把镜子拆下来洗。那样光路又要重新调。”

“我们要搞原位清洗。”

“在每个反射镜仓里，安装一个射频等离子体发生器。”

“当我们不曝光的时候，向仓内通入微量的氧气。”

“激发氧等离子体。”

“活性氧原子o会与镜片上的碳发生反应，生成二氧化碳气体，被真空泵抽走。”

“这叫光刻机的透析。”

风险就是氧等离子体如果不控制好，会连同镜片上的镀膜一起腐蚀掉。

“汪总，这又需要你的算法了。”

“根据碳沉积的速率，精确控制清洗时间和功率。多一秒伤膜，少一秒洗不净。”

一个月后。

所有子系统就位。

高反射率氟化物膜、主动稳像FS系统、原位等离子清洗系统。

“全系统联调。”

林远站在光刻机车间。

50米外，地下掩体里，SSb光源全功率输出。

“光闸打开！”

一道看不见的深紫外光束，穿过了漫长的真空管道，在8面反射镜上跳跃、折射。

它躲过了地面的震动，穿透了黑色的碳膜，最终……

轰击在光刻机的照明系统入口处。

功率计读数跳动：

接收功率：65w。

传输效率：65%！

虽然损失了35%，但这对于193n波段来说，已经是工程学的奇迹。这65w的功率，依然是传统光源的1.5倍！

“光到了！”

王海冰激动得热泪盈眶。

他们用一堆并不完美的零件，通过极致的系统工程和算法补偿，搭建起了一条通往纳米世界的光之高速公路。

庆功宴上，大家都很沉默。

只有他们自己知道，这束光背后，是多少个不眠之夜，是多少次在物理极限边缘的试探。

“林董，”汉斯喝了一口啤酒，“这套传输系统，造价太高了。”

“光是那些FS镜子和控制系统，成本就超过了光源本身。”

“如果要在全国推广，这笔钱……”

“钱不是问题。”林远看着手中的酒杯。

“问题是，我们把设备做成了精密仪器，这很难维护。”

“我们需要把这套系统傻瓜化。”

“下一步，我们要搞集成光路。”

“把这些分立的镜子、传感器、控制器，全部集成到一个真空光模块里。”

“像搭积木一样，一节一节拼起来。”

“这就需要标准的制定。”

林远放下了酒杯。

“通知李俊峰。”

“启明联盟，成立先进光源与光学传输委员会。”

“我们要制定中国光路标准。”

“所有想给工业之心供货的光学厂商，必须按这个标准来。”

就在这时，顾盼匆匆走了进来，神色古怪。

“老板，有个意外的消息。”

“怎么了？”

“尼康的人来了。”

“日本人？”林远眉头一皱，“东和财团派来的？”

“不。”顾盼摇头。

“是尼康总部的造反派。”

“他们说，他们被ASL压制了太久，快要破产了。”

“他们听说我们在搞计算光刻和新型光源，想带枪投靠。他们手里，有我们最缺的一样东西大数值孔径high-NA物镜设计图。”

林远笑了。

敌人的联盟，开始瓦解了。

在生存面前，没有永远的敌人。

“让他们进来。”

“我想听听，这些曾经的光刻机霸主，能开出什么价码。”