第360章 超新型配位团簇EUV光刻胶研发思路（1/2）

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黄作平：“？？？？”

袁泽成：“？？？？”

众人：“？？？？”

当林决出这话后，在场众人目光一下就变得有意思了起来。

袁泽成的手在空中挥了，表情错愕，仿佛想些什么，但又找不到合适的形容。

过了好半晌之后。

终于。

袁泽成才像是回过神来一般，带着些许不敢置信，

“......已经想到合适方案！？”

林决微微点头，

“是的，在组建班子的这两天里，我认真研究了下光刻胶新的可行思路......”

到这里，他轻轻一笑，

“大家都是业内专家，肯定也都清楚，目前全世界所有EUV光刻胶，无论是有机CAR，亦或者金属MOR......

成像原理，无不都依赖于化学键。”

“没错.....”

袁泽成闻言点头。

这件事情确实如林决所言。

无论是国内国外，目前关于光刻胶的研发，都是在光子照射，到分子键断开，然后结构破坏，最后溶解改变，完成材料。

虽然每家机构，在之中工程上有着明显差异，但底层逻辑，却是一样的。

“这已经是最成熟的方法了，但如果要创新，恐怕不是一朝一夕就能成，不定更浪费时间......”

毕竟创新不但要花费大量人力物力试错。

而且最后的结果，也大概率达不到预期。

他更愿意的是......

看到林决在已有的框架上，对产品进行优化。

“袁教授要不先听听我的想法？”

林决对袁泽成倒是没啥意见。

真理是辩出来的。

在研发过程中，工程师在意见不合时，拍桌子互骂的情景，再常见不过了。

再者......

袁泽成作为魔都光机所的带头人。

刚被调过来打下手，可能目前还没适应身份。

劝林决，也几乎是职业养成的下意识反应。

袁泽成一愣，“额......您。”

见状，林决便打开电脑的投影仪。

下一刻。

一个标题出现在众人眼中。

【笼促配位团簇EUV光刻胶研发思路】。

这个想法，其实早在冯宴发生意外前，林决便在考虑的了。

最后......

先是通过开启【超频】找到思路，最后经过【全知】进行验证后。

林决终于完成了这套方案。

其核心思路。

是彻底抛弃化学键成像机制，利用自主构建EUV激发二次电子，通过静电场缔合，完成溶解度切换。

全程不破坏分子结构，不拖配体！

其中，最让林决满意的是，这种方法从根源上.......

完全解决了传统光刻胶材料最大的问题———

真空出气污染！！

目前全世界做法。

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