第293章 nmArF准分子激光器和EUV光源！（2/2）

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无论是听说，还是切身感受，都知道韩文韬的科研能力有多强。

很清楚，韩文韬这样的科研能力，必然有很多项目需要他。

韩文韬此次过来，必然是知道光刻机项目有所突破，所以过来看看。

这点，几个负责人也很开心，毕竟他们是拿出了100%的努力和专注。

终于将光刻机核心的技术，啃下来了！！！

这对于国内半导体、芯片生产制造，有重大的历史性意义！

韩文韬看着几个项目负责人，笑着说道：“是啊，我们看公司汇总过来的信息，知道大家已经解决ArF准分子激光器以及物镜系统，帮助晶圆厂那边实现90n工艺生产，所以我过来看看！”

整个光刻机项目立项的时候。

韩文韬就说了两个研究目标：

短期目标，将目前光刻机使用的i-le的365n光源，升级成ArF（氟化氩）193n光源，可以实现90n-7n，多重曝光后可实现5n工艺！

长期目标，当然是EUV极紫外13.5n?光源的光刻机，可以实现7n-2n制程工艺的生产。

进度还是很快的。

2年时间就解决ArF准分子激光器、物镜系统、工作台……以及整个光刻机研究。

哪怕韩文韬有出手帮忙，光刻机研究团队的这个进度也非常快了。

韩文韬并没有用“原子重组”的能力帮太多，更多就是提供研究方向和思路。

没有真正帮忙解决问题。

更多是让团队自己去研究！

因为光刻机项目，其实并不着急，目前整个芯片、半导体……还无关紧要。

或者说：东大和米帝之间，还没有什么摩擦。

先进的芯片生产，可以交给台电代工。

慢慢追就行！

主要是把EUV光刻机的专利抢注。

抢下一代光刻机技术！

“说起来，光刻机项目能这么快突突，还是韩教授你的研究成果，起到了决定性的作用！”

“确实，在光源和激光器方面，“北辰科技”那边大尺寸金刚石散热片，起到巨大作用！”

“有“北辰科技”大尺寸金刚石散热片，我们也是直接力大砖飞，加大激光器功率，实现了EUV光源激发……”

“目前的问题，就是提高：稳定性和精度！”

“还有物镜系统……EUV光源太娇气、太脆弱，对物镜系统要求太高了！！”

这里就要说一下，“北辰科技”的人造金刚石项目的研究，是一直都在继续的。

韩文韬虽然没有继续研究。

但整个人造金刚石项目，无论是HPHT(高温高压法)，还是CVD(化学气相沉积法)。

“北辰科技”都有投入巨资。

有近千人的研究团队在研究。

毕竟，整个人造金刚石人项目，可是“北辰科技”最赚钱的项目。

哪怕现在“北辰科技”人造金刚石材料，已经开始降价。

可降价后，采购订单反而更多了。

每年2000亿的营收，一点没少！

订单反倒是更多了！

之前，“北辰科技”更多产品，是HPHT(高温高压法)研究成果。

现在，CVD(化学气相沉积法)已经取得巨大突破，大尺寸的人造金刚石已经生产出来了。

最大已经做到3英寸单晶和6英寸多晶金刚石热沉片！！

这种大尺寸的人造金刚石，无论单晶还是多晶片，几乎全部被军部采购完。

也就是“北辰精密”和“北辰科技”是兄弟公司，否则都拿不到这种大尺寸人造金刚石。

哪怕“北辰精密”要这种大尺寸人造金刚石，所以流向、去向、全部要做登记。

足以看出，这种大尺寸人造金刚石有多重要！

完全就是军用管控物资！

只有军部自己知道……用在军事领域，特别是军事、航天、航空领域有多强！

“北辰精密”就是用这种大尺寸人造金刚石散热，将激光器功率强行提升上来。

不仅仅解决了：193nArF准分子激光器，将晶圆厂光刻机完成升级改造，实现90n制程工艺自产！

193nArF准分子激光器解决后，后续90n-7n，都可以自己研究。

即便是EUV13.5n?极紫外光源，激光器都强行实验过……只不过是力大砖飞，强行弄出来的！

根本控制不住。

不够稳定、不够精准！